И вот совсем недавно, 28 сентября 2021 года, на торговой площадке «Росэлторг» появился примечательный лот на 670 млн. рублей от Министерства промышленности и торговли Российской Федерации: НИР (научно-исследовательская работа) «Разработка установки безмасочной рентгеновской нанолитографии на основе МЭМС (микроэлектромеханической системы) динамической маски для формирования наноструктур с размерами от 13 нм и ниже на базе синхротронного и/или плазменного источника», шифр «Рентген-Литограф».

По сути, это уже исследование возможности разработки безмасочного рентгеновского литографа для формирования элементов по проектным технологическим нормам 28 нм и 16 нм.

Сроком завершения работ значится 30 ноября 2022 года. Результатом работ будет разработка ТЗ (технического задания) на ОКР (опытно-конструкторские работы).